电子束蒸发镀膜系统

产品报价:面议

品牌:百举捷 型号:非标定制

仪器类型:工艺实验仪器

供应商:沈阳百举捷科学仪器有限公司

产品介绍

极限真空度:≤8x10-6Pa(经烘烤除气后); 系统真空检漏漏率:≤5.0×10-7Pa.l/S; 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,15分钟可达到6×10-4Pa; 系统主要由蒸发真空室、坩埚直线运动的E型电子枪、膜厚仪、基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及控制系统等部分组成。

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