脉冲激光溅射沉积系统

产品报价:面议

品牌:百举捷 型号:非标定制

仪器类型:工艺实验仪器

供应商:沈阳百举捷科学仪器有限公司

产品介绍

该系统是由三套分别带进样室的沉积室组成,公用一台激光器,三个沉积室分别命名为沉积腔室一、沉积腔室二和沉积腔室三,每个进样室配装样品传递系统一套,完成进样室和沉积室之间的样品传递;具有脉冲激光溅射和磁控溅射两种镀膜方法; 脉冲激光溅射是利用激光的单脉冲能量高,方向性好,打在靶材上,其温度可高达3000-4000度,几乎能溅射出任何材料。由于单次溅射时间很短,所以制备的薄膜成分几乎与靶材的成分比例完全相同。可以生长通常的有机和无机薄膜材料,尤其适用于其它制膜设备和方法难以制备的高熔点、多元素(特别是含有气体元素的多元素)和复杂层状结构的薄膜,同时还能进行其相应的激光与物质相互作用和成膜过程的物理、化学等方面的基础研究。因此利用激光制备薄膜,不仅是具有重要学术意义和广泛应用前景的一种高精密新型制膜技术,而且是探索新材料和新器件与进行相关基础研究的一种手段。

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