磁控离子束复合镀膜系统

产品报价:面议

品牌:百举捷 型号:非标定制

仪器类型:工艺实验仪器

供应商:沈阳百举捷科学仪器有限公司

产品介绍

真空室:Φ500mm×450mm 极限真空度:≤5×10-5Pa (经烘烤除气后); 系统真空检漏漏率:≤5.0×10-8 Pa.l/S; 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,40分钟可达到6.6x10-4 Pa; 停泵关机12小时后真空度:≤5 Pa; 要求镀膜200nm时,误差小于±5%(只在平面样品镀膜是检测,平片样品边缘5mm不计) 自带石英晶体振荡膜厚监测仪,精度为1埃 电子束功率:10kW 系统主要由真空室、自转样品台、离子源、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成;

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