PECVD等离子体化学气相沉积系统

产品报价:面议

品牌:百举捷 型号:非标定制

仪器类型:工艺实验仪器

供应商:沈阳百举捷科学仪器有限公司

产品介绍

本设备采用等离子体增强化学气相沉积技术,在光学玻璃、硅、石英以及不锈钢等不同衬底材料上沉积氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,用以制备非晶硅和微晶硅薄膜太阳电池器件。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。

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